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產品詳情

  • 全自動晶圓超掃

  • SONOSCAN超聲掃描顯微鏡AW300，可根據操作員所選擇的接受/拒收標準，對晶圓進行自動處理、檢驗和分類。
  • 產品文檔：

全自動晶圓超掃

發布時間 : 2026-04-22 16:56

AW300TM

設備分類：生產型

該系列設備是專門為粘合晶圓及硅片設計的全自動C-SAM系統。
它容量大，產能高，靈敏度高，通常用來檢測SOI．MEMS等晶圓。由于這些材料對超聲波幾乎是透明的，SONOSCAN利用自己專門研制的高頻探頭進行分析，以獲取更精細的圖像。AW系列能夠探測直徑小于5微米的空洞和薄如200埃的分層。
 
特色功能：
 

  • 全自動檢測200/300mm的晶圓
  • SONOSCAN磚利的瀑布式探頭
  • 三個25片的晶圓匣盒
  • 可選水循環和給排水模塊
  • 精細定位的機械臂實現wafer自動上下料，將產能擴大化


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